Os Lasers de Excimer da Coherent, são as mais potentes e versáteis fontes de luz na região do ultravioleta.

Estes comprimentos de onda são muito bem absorvidos por vários tipos de materiais, tais como, metais, tecidos biológicos, plásticos e polímeros, componentes orgânicos etc. Ao invés de queimar ou cortar o material, o laser de Excimer fornece energia suficiente para romper as ligações moleculares da superfície do tecido, o que efetivamente provoca a sua desintegração, sem efeitos térmicos. Portanto, lasers de Excimer possuem a propriedade de remover finíssimas camadas de material, sem aquecimento ou mudanças nas camadas adjacentes que permanecem intactas. Devido a estas características de ablação fria e comprimentos de onda muito curtos, os lasers de Excimer são uma excelente ferramenta para vários tipos de aplicações tais como:

Micro fabricação e usinagem de precisão
Procedimentos cirúrgicos em medicina (Glaucoma, cirurgia refrativa, Angioplastia, etc)
Litografia
Confecção de redes de Bragg
Marcação
Furação
Tratamento de superfícies
Deposição de filmes finos
Ablação e remoção de camadas finas
Medições em dinâmica de fluídos “Particle Image Velocimetry” e “Laser Induced Fluorescence”
Espectroscopia
Fotoquímica

Um laser de Excimer tipicamente utiliza uma combinação de um gás inerte (argônio, criptônio ou xenônio) e um gás reativo (flúor ou cloro). Em condições apropriadas de estimulação (bombeio através de descarga elétrica ou feixes de elétrons de alta energia), a pseudo molécula chamada Excimer é criada, a qual só pode existir em um estado excitado e que pode  levar à geração de laser na região do ultravioleta  quando do seu decaimento.

Eles são lasers pulsados com pulsos da ordem de 10ns de duração, com freqüência de repetição que pode chegar a alguns Khz, e normalmente funcionam com freqüências entre 100 e 500Hz.

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